音圈电机在半导体行业的广泛应用-同茂电机

同茂电机新闻中心 News Center

联系同茂 Contact Us

咨询热线：0512-57726399

u7cc彩票传真：0512-57726599

手机：13914944991

QQ：234122725

苏州工厂地址：苏州昆山富春江路1299号

u7cc彩票泰州工厂地址：泰州姜堰经济技术开发区扬帆创业园C#

当前位置：首页 » 同茂电机新闻中心 » 解决方案 » 半导体设备

: 半导体制程_IC芯片高速高精度贴片

客户要求：
1，该方案采用高速、高精度、高动态特性的笛卡尔龙门坐标轴设计；
2，分辨率：1Vpp Sin/Cos （典型推荐分辨率5nm）；
3，双向重复定位精度：±0.75μm（Base）±0.4μm（Plus）；
4，定位精度（线性误差修正）：±3μm（Base）±1μm（Plus）；
5，正交误差：10arc sec；
6，最大工作速度：2000mm/s；
了解详情

: 同茂音圈电机半导体制作应用

u7cc彩票用音圈电机制造更精确的半导体元件，我们经常都需要对制造出来的半导体元件进行检测，而新换的检测设备是用音圈电机的，移动起来十分平滑，能够达到微米级别，使得元件检测更简单。
了解详情

共：6条首页上一页 1 2 3

u7cc彩票